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旋转溅射靶材
- 更新时间：2018-03-20
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余斌 女士
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品名 | 成分/化学式 | 纯度 | 规格 |
硅铝合金 | Si90Al10 | 3N/4N | 平面靶/旋转靶 |
氧化钛 | TiOx | 4N | 平面靶/旋转靶 |
镍铬合金 | Ni80Cr20 | 3N | 平面靶 |
钛 | Ti | 2N7 | 平面靶/旋转靶 |
高纯石墨 | C | 4N | 平面靶 |
氧化锌铝 | AZO（ZnO-2~3Al2O3） | 3N5 | 平面靶 |
锡 | Sn | 3N | 平面靶/旋转靶 |
锌锡合金 | Zn52Sn48 | 3N | 平面靶/旋转靶 |
锌铝合金 | Zn98Al2 | 3N | 平面靶/旋转靶 |
铬 | Cr | 2N5/3N/3N5 | 平面靶/旋转靶 |
不锈钢 | 316L | — | 平面靶/旋转靶 |
硅 | Si | 5N | 平面靶/旋转靶 |
纯铝 | Al | 4N/5N | 平面/旋转靶 |
铝钕合金 | Al97Nd3 | 4N/5N | 平面/旋转靶 |
铜 | Cu | 3N | 平面/旋转靶 |
钼 | Mo | 3N5 | 平面/旋转靶 |
钼铌合金 | MoNb | 3N5 | 平面/旋转靶 |
氧化铌 | Nb2Ox | 4N | 平面/旋转靶 |
硅 | Si | 5N | 平面/旋转靶 |
二氧化硅 | SiO2 | 4N | 平面靶 |
氧化铟锡 | ITO | 4N | 平面靶 |
